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Referenzen:

Nutzen Sie unsere grosse Erfahrung und unser Know-how.

Referenzprojekt: Display / Solar, Vakuum-Beschichtungsanlagen: vom Nebel zur homogenen Oberflächenbeschichtung

Mehr als 20 Jahre Entwicklungs-Know-How bei ca. 25 Mann-Jahren Entwicklungsarbeit über die verschiedensten Anlagengenerationen, zeichnen unsere Verlässlichkeit bei der Neuentwicklung und Erweiterung von Grossprojekten in der Prozessindustrie aus.

 

Informationen zum Projekt

 

Prozess:

Die Sputter (Kathodenzerstäubung) und PECVD Technologie (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) sind Methoden zur Dünnschichterzeugung. Bei diesen Verfahren wird das aufzutragende Material aus dem Gaszustand als homogene Dünnschicht auf ein festes Trägermaterial abgeschieden.

Technologien:

Immer schritthaltend mit dem Stand der Technik und dem Blick auf die Kundenanforderungen wurden über die Entwicklungszeit unterschiedlichste Technologien und Steuerungsplattformen eingesetzt, wobei Mitsubishi und Beckhoff PLCs die Kernstücke der Prozessanlagen bilden.

SW-Entwicklung und SW-Funktionalität:

Um die Vielzahl an Funktionen über die Jahre warten und weiterentwickeln zu können, wurde sehr grosser Wert auf eine strukturierte Arbeitsweisse gelegt. Durchdachte und klar dokumentierte Spezifikation- und Designphasen bilden die Basis der Implementation und anschliessenden Testphasen.

Bei den Anlagen besteht ausserdem die Möglichkeit Abläufe und Prozesse unabhängig vom eigentlichen Maschinensystem zu testen. Ein Simulationsmodus für SPS und HMI ist fix in die Software integriert und muss nicht separat beschafft werden. Eine Umschaltung jeder einzelnen Komponente zwischen "Simulation" und „Betrieb“ ist permanent möglich, wodurch die Inbetriebnahmezeiten reduziert und der Vor-Ort-Einsatz gering gehalten werden kann.

Die neueste Steuerungsgeneration beinhaltet ein neu entwickeltes Softwareframework mit objektorientierter Erweiterung und einem eventgesteuertem Softwarekonzept. Durch den Einsatz der objektorientierten Erweiterung von Beckhoff können komplexere Funktionen klarer gekapselt werden und grundlegende Funktionen können mit Hilfe der Vererbung sehr einfach übernommen werden.

Anlagenfunktionalität

Ausserhalb des eigentlichen Prozessraumes, in dem die Beschichtung stattfindet sind Kassettenstationen angeordnet, die von einem Führerlosen Transportsystem mit neuen Gläsern beschickt werden. Prozessierte Gläser sind im gleichen Arbeitsgang zu entnehmen. Ein Roboter lädt dann Gläser von den Kassettenstationen in eine der Schleusenkammer um. Die Prozesskammern mit je 10 Reaktoren werden vom internen Transportsystem mit Gläsern beladen, die nach dem ausgewählten Rezept bearbeitet werden. Das Ergebnis dieses perfekt aufeinander abgestimmten Zusammenspiels von Hochvakuum, Druck, verschiedene Medien und Prozesstemperaturen sind beschichtete Gläser, die für TFT-Displays, Leiterbahnen oder Dünnschichtsolarzellen eingesetzt werden.

Besonderheiten

  • Softwarekonzepterstellung mit objektorientierter Erweiterung
  • automatische Codegenerierung aus
  • Anlagenkonfiguration
  • Rezepturhandling: automatische Ablauf-steuerung des Prozesses auf Grundlage von textbasierten Rezepten ohne Anpassung der Programmierung
  • Software Simulation für komplette Anlagentest
  • Integration von externen Maschinenteilen wie Handlings Roboter mit unterschiedlichen Schnittstellen
  • Inbetriebsetzung bei Endkunden in Europa und Asien 

Technologien

  • Beckhoff PLC, TwinCAT 3
  • Beckhoff PLC, Twin-CAT 2 CNC Steuerung
  • Mitsubishi PLC, GX IEC Developper
  • HMI Applikation auf Intouch.
  • Pilz Safety PLC

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